摘要
每年7月往往是半导体行业新产品发布和评选活动扎堆的时刻,颇有些“期中考”的味道。AMEC凭借其刻蚀设备“Primo D-RIE”有幸获得“2009年度SI编辑最佳产品奖”和“2009 Frost＆Sullivan Asia Pacific Industrial Technologies Award as the E- merging Semiconductor Company of the Year＂ .PrimoD—RIE于2007年12月正式发布，主要面向65nm及45nm工艺、300nllTl晶圆。与市场上的现有产品相比处理能力提高35％~50％、成本则降低30％-40％。AMEC于2007年6月向客户交付了测试机。该设备是中国本土生产的核心设备首次进入国际主流生产线。
出处
《电子工业专用设备》
2009年第7期70-71,共2页
Equipment for Electronic Products Manufacturing
