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半导体C-V测量基础

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摘要 通用测试 电容-电压(C-V)测试广泛用于测量半导体参数,尤其是MOSCAP和MOSFET结构。此外,利用C-V测量还可以对其他类型的半导体器件和工艺进行特征分析,包括双极结型晶体管(BJT)、JFET、Ⅲ-V族化合物器件、光伏电池、MEMS器件、有机TFT显示器、光电二极管、碳纳米管(CNT)和多种其他半导体器件。
作者 Lee Stauffer
机构地区 吉时利仪器公司
出处 《电子与电脑》 2009年第8期87-90,共4页 Compotech
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