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全球首款场选择60W-90W沉浸式光源被亚洲大型芯片商采用
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摘要
Cymer宣布全球首款场选择60W-90W沉浸式光源——XLR 600ix已集成至Nikon扫描光刻机,并成功在一家大型亚洲芯片商中投入使用。该里程碑标致着此类光源得到了主流芯片商的采用,并表明芯片商对于Cymer XLR平台的认可。
出处
《中国集成电路》
2009年第8期8-8,共1页
China lntegrated Circuit
关键词
沉浸式
芯片
光源
亚洲
NIKON
光刻机
分类号
TP391.9 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
TP303 [自动化与计算机技术—计算机系统结构]
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中国集成电路
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