高能离子注入对聚酚亚胺薄膜硬度的影响

Effect of energetic ion implantion on hardness of Kapton films

报道了聚酚亚胺薄膜在高能（６５０ｋｅＶ－２ＭｅＶ）Ｂ＋、Ｃ＋和Ｃｕ＋离子注入后硬度的变化。对注入样品进行了显微硬度测量和ＸＰＳ及ＲＢＳ分析，观察了硬度与离子种类、能量及注入剂量的依赖关系。结果表明，离子注入之后薄膜样品的显微硬度值明显提高，注入离子在样品中的电子能量损失对聚合物材料改性起着关键作用。ＸＰＳ和ＲＢＳ分析显示，离子注入之后聚酰亚胺薄膜中Ｃ的含量增加，形成了以苯环结构为主的新的交联网状结构。