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激基激光器可用于修整纳米材料缺陷
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摘要
美国普林西顿大学开发出一种便宜的、可减少边棱磨损的、仅纳米材料边面光滑的工艺,从而可制造芯片形状更准确的工艺。
作者
杨英惠(摘译)
出处
《现代材料动态》
2009年第8期12-12,共1页
Information of Advanced Materials
关键词
纳米材料
材料缺陷
激光器
修整
工艺
分类号
TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]
TB303 [一般工业技术—材料科学与工程]
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刘静国,宋丽娟,赵鸿声.
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现代材料动态
2009年 第8期
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