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铝钽合金薄膜热稳定性及其中功率衰减器的研究

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摘要铝钽合金薄膜热稳定性及其中功率衰减器的研究＊贾宇明杨邦朝曲喜新（电子科技大学信息材料工程学院成都６１００５４）１引言铝与某些金属可以形成优良的耐热铝合金材料。已有文献报导了用溅射方法制出的铝钽合金薄膜可以用于制造耐热的薄膜元器件〔１～４〕。我们发现当...

作者贾宇明杨邦朝曲喜新

机构地区成都电子科技大学信息材料工程学院

出处《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第4期426-429,共4页 Chinese Journal of Scientific Instrument

关键词铝钽合金薄膜热稳定性中功率衰减器耐热合金

分类号 TG146.21 [金属学及工艺—金属材料]

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相关文献

参考文献3

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仪器仪表学报

1998年第4期

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