摘要
用112MeVAr离子以50K的低温辐照了<111>取向的单晶Si,后在室温下来用X射线光电子谱(XPS)、电子顺磁共振(EPR)和红外光吸收(IR)技术对样品进行了分析。XPS分析结果表明。表面处Si以单元素和SiO2两种形式共存,辐照对这两种形式Si的2p轨道电子的结合能影响较小,EPR测量结果显示,Si中的损伤产生明显地依赖于辐照剂量,当剂量为1.0x1014—1.8x1014cm-2时。可以观测到了中性四空位(Si-P3心)、孤立的非晶区域等缺陷;随辐照剂量增加,孤立的非晶区域转变为连续的非晶层,非晶共振线表现为对称的洛仑兹型线。其g因子约为2.0058。IR在辐照的Si中揭示了双空位的形成,双空位主要分布在电子能损起主导作用的辐照区域,其浓度随辐照剂量的增加而增加,并在高剂量时趋向饱和。最后定性地讨论了结果。
Abstract
出处
《核技术》
CAS
CSCD
北大核心
1998年第8期449-454,共6页
Nuclear Techniques
基金
国家自然科学基金
甘肃省自然科学基金
中国科学院"九五"重点资助