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高能Ar离子辐照单晶Si引起的损伤研究 被引量:1

Damage Production in Silicon high energy Ar ion implantation
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摘要 用112MeVAr离子以50K的低温辐照了<111>取向的单晶Si,后在室温下来用X射线光电子谱(XPS)、电子顺磁共振(EPR)和红外光吸收(IR)技术对样品进行了分析。XPS分析结果表明。表面处Si以单元素和SiO2两种形式共存,辐照对这两种形式Si的2p轨道电子的结合能影响较小,EPR测量结果显示,Si中的损伤产生明显地依赖于辐照剂量,当剂量为1.0x1014—1.8x1014cm-2时。可以观测到了中性四空位(Si-P3心)、孤立的非晶区域等缺陷;随辐照剂量增加,孤立的非晶区域转变为连续的非晶层,非晶共振线表现为对称的洛仑兹型线。其g因子约为2.0058。IR在辐照的Si中揭示了双空位的形成,双空位主要分布在电子能损起主导作用的辐照区域,其浓度随辐照剂量的增加而增加,并在高剂量时趋向饱和。最后定性地讨论了结果。 Abstract
出处 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 1998年第8期449-454,共6页 Nuclear Techniques
基金 国家自然科学基金 甘肃省自然科学基金 中国科学院"九五"重点资助
  • 相关文献

参考文献1

  • 1刘昌龙,高能物理与核物理,1998年,22卷,9期

同被引文献8

  • 1刘昌龙,学位论文,1999年
  • 2Liu C L,Nucl Instr Meth.B,1998年,135期,219页
  • 3Zhu Z Y,Nucl Instr Meth.B,1998年,135期,260页
  • 4Zhu Z Y,Nucl Instr Meth.B,1991年,61卷,72页
  • 5Toulemonde M,J Appl Phys,1990年,68卷,1545页
  • 6Hou M D,Phys Rev.B,1990年,41卷,2期,1144页
  • 7Fan H Y,J Appl Phys,1959年,30卷,1127页
  • 8刘昌龙,侯明东,程松,朱智勇,王志光,孙友梅,金运范,李长林.高剂量Ar离子辐照Si缺陷产生及其退火行为EPR研究[J].高能物理与核物理,1998,22(7):651-657. 被引量:3

引证文献1

二级引证文献3

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