摘要
采用直流－射频等离子化学气相沉积方法制备出类金刚石薄膜，用Ｆｏｕｒｉｅｒ透射谱和吸收谱对类金刚石膜的结构进行了研究．类金刚石膜中大部分碳原子以ｓｐ３组态存在．结合在膜中的氢原子与碳原子之间可形成ｓｐ３Ｃ—ＣＨ２，ｓｐ３Ｃ—ＣＨ３和ｓｐ２Ｃ—ＣＨ２基，其含量以ｓｐ３Ｃ—ＣＨ２基为主．增加Ａｒ气分压与提高极板负偏压对类金刚石膜结构产生的影响是相似的，增大极板负偏压或Ａｒ气的含量将减小类金刚石膜中ｓｐ３／ｓｐ２比值和Ｈ的含量以及ＣＨ２基的含量，同时增加薄膜的交联，减少聚合相的含量．
出处
《硅酸盐学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1998年第4期508-512,共5页
Journal of The Chinese Ceramic Society
基金
华中理工大学塑性成形模拟及模具技术国家重点实验室资助
关键词
类金刚石薄膜
结构
红外光谱
气相沉积
diamond_like carbon films, infrared spectra, structure,direct current-radio frequency plasma enhanced chemical vapor deposition (DC-RF PECVD)
