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超纯半导体的高分辨率光热电离光谱
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摘要
一、引言 超纯半导体不仅在核辐射及红外辐射探测等方面有重要应用,而且对半导体浅杂质态研究亦具有积极意义。由于超纯半导体中浅杂质含量极微,所有传统的杂质检测方法已难以探测和识别,因此很有必要发展相应的高灵敏度检测手段。
作者
俞志毅
黄叶肖
朱景兵
陆卫
沈学础
Eugene E.Haller
机构地区
中国科学院上海技术物理研究所红外物理开放研究实验室
美国加州大学伯克利分校劳伦斯伯克利实验室
出处
《科学通报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1990年第3期173-176,共4页
Chinese Science Bulletin
关键词
超纯半导体
光热电离光谱
浅杂质
分类号
TN304.07 [电子电信—物理电子学]
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0
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参考文献
1
1
沈学础,物理学进展,1982年,2卷,275页
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科学通报
1990年 第3期
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