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磁控溅射技术在刀具涂层中的应用

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摘要 磁控溅射作为一种应用广泛的真空镀膜技术,被普遍和成功地应用于许多方面,如材料表面处理、微电子、光学薄膜等,目前磁控溅射技术应用的领域还在不断扩展。
作者 闫继超
出处 《科技信息》 2009年第22期282-283,共2页 Science & Technology Information
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