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磁控溅射技术在刀具涂层中的应用
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摘要
磁控溅射作为一种应用广泛的真空镀膜技术,被普遍和成功地应用于许多方面,如材料表面处理、微电子、光学薄膜等,目前磁控溅射技术应用的领域还在不断扩展。
作者
闫继超
机构地区
河南煤炭建设集团有限责任公司焦作弹簧分公司
出处
《科技信息》
2009年第22期282-283,共2页
Science & Technology Information
关键词
磁控溅射技术
应用
刀具涂层
真空镀膜技术
材料表面处理
光学薄膜
微电子
分类号
TG174.45 [金属学及工艺—金属表面处理]
TG706 [金属学及工艺—刀具与模具]
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