计量光栅的制造和检测方法

计量光栅作为一种精密位移的测量及传感元件广泛应用于计量、数字显示、数字控制等领域,有很高的分辨力。本文介绍了计量光栅的种类,重点介绍了计量光栅制造的主要方法以及衡量计量光栅质量的基本指标和基本检测方法。