摘要
探讨采用真空波导及反常波模式（X模）微波输入技术，以避免微波石英窗口的污染，并研究了这种微波耦合模式装置中等离子体的放电特性．
In order to avoid contamination of microwave window, a technique Vacuum waveguide hasbeen inquired by means of the extraordinary wave mode coupling, and the characteristics of the plasmadischarge in this apparatus have been investigated.
出处
《华中理工大学学报》
CSCD
北大核心
1998年第8期53-55,共3页
Journal of Huazhong University of Science and Technology
基金
国家自然科学基金!19175046
关键词
ECR
等离子体
溅射
X模式
放电
微波
ECR plasma
sputter
Vacuum waveguide
extraordinary wave mode
discharge
