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450mm晶圆载体
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摘要
基于最新的450mm晶圆厂载体的SEMI标准,Beta版450mm晶圆载体的设计允许早期的450mm设备集成和晶圆处理研究。Entegris还提供450mm单晶圆和多晶圆晶舟(前开式晶舟盒,FOSB)。这款Beta版450mmFOSB采用ISTA(国际安全运输协会)认证的二级封装系统,能安全可靠地传送450mm晶圆。
出处
《集成电路应用》
2009年第9期46-46,共1页
Application of IC
关键词
单晶圆
载体
Beta版
SEMI
设备集成
封装系统
安全运输
ISTA
分类号
TN43 [电子电信—微电子学与固体电子学]
Q782 [生物学—分子生物学]
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