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450mm晶圆载体

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摘要 基于最新的450mm晶圆厂载体的SEMI标准,Beta版450mm晶圆载体的设计允许早期的450mm设备集成和晶圆处理研究。Entegris还提供450mm单晶圆和多晶圆晶舟(前开式晶舟盒,FOSB)。这款Beta版450mmFOSB采用ISTA(国际安全运输协会)认证的二级封装系统,能安全可靠地传送450mm晶圆。
出处 《集成电路应用》 2009年第9期46-46,共1页 Application of IC
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