光刻用准分子激光器

用KrF准分子激光器作光源的64M bit-DRAM的光刻生产线已正式引进到半导体工厂。准分子激光器的生产也逐渐走向正规。并且,ArF准分子激光器光刻的研究开发是以1G bit DRAM为主,不仅要提高准分子激光器的性能.还要达到高可靠性、易维修、操作简单。本文将介绍准分子激光器在高性能、高可靠性方面的研究课题及现状。其次介绍生产用KrF准分子激光器以及研究用ArF准分子激光器的最新开发动向及其外围课题。