紫外波段激光光刻用的VM型变焦距显微镜

近年半导体器件的高集成化微细加工,对微米及亚微米的要求迅速发展,在显微镜下作业必须具备高分辨率和长工作距离的物镜,要求的波长不只局限在可见光,要向红外方向发展。