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热处理对氧化钒薄膜物相的影响 被引量：1

Phase of Vanadium Oxide Thin Film Affected by Heat Treatment
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摘要 二氧化钒薄膜特殊的相变性能,决定其有着巨大的应用潜能,但其制备始终是一个难点,实验首先利用反应磁控溅射的方法制得高纯度的五氧化二钒薄膜,然后通过后续热处理得到了二氧化钒,对转化的可能性进行了热力学分析,同时利用XRD对不同温度热处理条件下所获得的薄膜进行了分析。 Special reversible phase-change characteristic of VO2 film determines their great potential application. But preparation of VO2 film is very difficult. Here V2O5 film of high purity is prepared by reactive magnetron sputtering, following by post heat treatment. Then VO2 film can be obtained. Transformation possibility of vanadium oxide film is analyzed by thermodynamics. The films obtained by different temperature heat treatment are analyzed by XRD.
作者 张津 宋晶晶 孙智富 刘成龙 孙健
机构地区 重庆理工大学材料学院 北京科技大学新材料技术研究院 武汉理工大学材料科学与工程学院 重庆理工大学教育部汽车零部件制造及检测技术重点实验室 重庆机电技术学院
出处 《武汉理工大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第17期43-45,共3页 Journal of Wuhan University of Technology
关键词 五氧化二钒薄膜 二氧化钒薄膜 热处理 V2O5 film VO2 film heat treatment
分类号 TQ135.1 [化学工程—无机化工] O571.33 [理学—粒子物理与原子核物理]
  • 相关文献

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共引文献30

同被引文献15

引证文献1

二级引证文献2

武汉理工大学学报
2009年 第17期

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