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使用先进的控制电弧和组合电弧/不平衡磁控管(ABS^TM)沉积技术的?…

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摘要 就工业涂镀系统HTC-1000-MKI而言,组合的电弧/不平衡磁控管(ABS^TM)的PVD硬涂层技术用于硬涂布市场已有五年了,除了有改进的HTC-1000-ABS-MKⅡ型外,目前使用的是HTC-1500-ABS,其生产能力是原型的4倍。
作者 思虹
出处 《国外核聚变与等离子体应用》 1998年第4期74-79,共6页
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