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热中子辐照 GaAs 损伤研究

INVESTIGATION ON RADIATION DAMAGE OF GaAs BY THERMAL NEUTRON IRRADIATION
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摘要 在热中子与快中子成份比大于70的条件下,用6.5×1016cm-2和6.5×1018cm-2剂量水平辐照纯净GaAs样品,研究由于嬗变产生的杂质和损伤。所得结果表明:热中子对Ga、As发生俘获核反应,其最终稳定产物Ge作为两性杂质元素被导入;复杂的移位缺陷形成及其热行为是影响辐照后GaAs电学性质变化的重要因素。 The radiation damage on GaAs is investigated during transmutation doping. Ge, as amphoteric impurity, is introduced and its defect configuration as well as thermal behaviors have an effect on the electrical properties of GaAs during thermal recovery.
出处 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第4期347-351,共5页 Atomic Energy Science and Technology
关键词 热中子 辐照损伤 砷化镓 嬗变 电性质 GaAs Thermal neutron Radiation damage
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参考文献1

  • 1夏宗璜,中国有色金属学会半导体材料学术委员会砷化镓及其化合物会议文集,1993年,167页

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