用准分子激光进行微加工
出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
1998年第8期30-33,共4页
Laser & Optoelectronics Progress
-
1宪华.准分子激光用于微加工[J].国外激光,1989(5):33-35.
-
2王世贵.准分子激光光刻技术[J].国外激光,1990(3):29-32.
-
3楼祺洪.高功率准分子激光的发展现状及一些应用前景[J].国外激光,1990(2):6-8. 被引量：1
-
4楼祺洪.准分子激光及其在微细加工中的应用[J].电子器件,1994,17(2):13-19.
-
5姚永邦.准分子激光20年[J].光电子技术与信息,1995,8(5):1-6. 被引量：1
-
6楼祺洪.日本准分子激光的进展[J].强激光技术进展,1996,6(1):20-24.
-
7冯伯儒.准分子激光的应用[J].微细加工技术,1994(3):43-51. 被引量：4
-
8刘宝胜.准分子激光器与微加工[J].激光与光学,1989(7):22-24.
-
9奚居雄.准分子激光器进展与微加工[J].光电子技术与信息,1995,8(3):27-30.
-
10何大强.微电子技术的崛起[J].北京电子,2000(11):20-21.
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