摘要
本文介绍了一种凸多边形版图场分割数据处理的方法 ,详细分析了凸多边形场分割数据处理的算法。
The article introduces a method of the field division data processing of the convex polygon patterns . A algorithm of the field division data processing of the convex polygon is described in detail.
出处
《微细加工技术》
1998年第3期7-14,共8页
Microfabrication Technology
关键词
版图
图形场分割处理
LSIC
电子束曝光机
Data processing
Pattern field division processing
Softwave for electron beam.
