磁控溅射法在柔性衬底上制备ZnO∶Al透明导电薄膜被引量：8

ZnO∶Al TRANSPARENT CONDUCTIVE THIN FILM PREPARED ON ORGANIC SUBSTRATE BY R.F. MAGNETRON SPUTTERING

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摘要用射频磁控溅射方法在有机柔性衬底上制备出好的附着性、低电阻率、高透射率ＺｎＯ∶Ａｌ的透明导电膜，研究了薄膜的结构、电学和光学特性． ZnO:Al transparent conducting thin film with good adhesion,low resistivity and high transmittance has been prepared on the organic substrated by r.f.magnetron sputtering were studied.The structural,electrial and optical properties of film were studied.

作者杨田林许心光张德恒马瑾马洪磊

机构地区山东大学光电材料与器件研究所山东大学晶体材料国家重点实验室山东大学物理系

出处《山东大学学报（自然科学版）》 CSCD 1998年第3期271-275,共5页 Journal of Shandong University(Natural Science Edition)

关键词磁控溅射衬底柔性衬底氧化锌铝薄膜 magnetron sputtering organic substrate ZnO∶Al films

分类号 TN304.21 [电子电信—物理电子学]

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相关文献

参考文献6

1马瑾，Thin Solid Films，1997年，307卷，200页
2张德恒，Thin Solid Films，1997年，295卷，83页
3张德恒，Appl Phys A，1996年，62卷，4页
4马瑾，太阳能学报，1995年，16卷，216页
5张德恒，Thin Solid Films，1994年，251卷，151页
6黄毓虹，太阳能学报，1989年，10卷，219页

同被引文献111

1杨田林,韩圣浩,张鹏,王爱芳.有机衬底和玻璃衬底ZnO:Al透明导电膜的结构及光电特性对比研究[J].液晶与显示,2004,19(5):329-333. 被引量：5
2李胜林,冯凯,刘浩然,刘国华,张德贤.用电子束蒸发法低温无损情况下在有机柔性衬底上制作ITO膜及其性能研究[J].真空科学与技术学报,2004,24(4):303-305. 被引量：10
3冯团辉,卢景霄,张宇翔,杨仕娥,李瑞,靳锐敏,王海燕,郜小勇.快速光热退火法制备多晶硅薄膜的研究[J].电子元件与材料,2005,24(2):26-28. 被引量：7
4丁星兆,何怡贞,董远达.溶胶－凝胶工艺在材料科学中的应用[J].材料科学与工程,1994,12(2):1-8. 被引量：47
5宋继鑫.国外光学薄膜的应用和真空镀膜工艺[J].光学技术,1994,20(1):32-38. 被引量：15
6何维凤,赵玉涛,李素敏,李长生.柔性透明导电薄膜的制备及其发展前景[J].材料导报,2005,19(3):32-36. 被引量：14
7张丽伟,卢景霄,段启亮,王海燕,李瑞,靳锐敏,王红娟,张宇翔.磁控溅射法制备AZO薄膜的工艺研究[J].电子元件与材料,2005,24(8):46-48. 被引量：15
8马瑾,计峰,马洪磊,李淑英.铝掺杂氧化锌（AZO）薄膜的电学性质研究[J].太阳能学报,1995,16(2):216-219. 被引量：11
9程知群.在柔性基上真空蒸镀ITO膜[J].光电子技术,1996,16(1):51-54. 被引量：2
10望咏林,颜悦,沈玫,贺会权,纪建超,张官理.离子束辅助磁控溅射低温沉积ITO透明导电薄膜的研究[J].真空,2006,43(4):7-9. 被引量：3

引证文献8

1何维凤,赵玉涛,李素敏,李长生.柔性透明导电薄膜的制备及其发展前景[J].材料导报,2005,19(3):32-36. 被引量：14
2张丽伟,卢景霄,段启亮,王海燕,李瑞,靳锐敏,王红娟,张宇翔.磁控溅射法制备AZO薄膜的工艺研究[J].电子元件与材料,2005,24(8):46-48. 被引量：15
3张丽伟,王子健,卢景霄,王海燕,吴芳,李红菊.真空退火法对AZO薄膜的研究[J].真空,2006,43(5):13-15. 被引量：5
4杨伟方,付恩刚,庄大明,张弓.ZAO薄膜的光电特性与应用前景[J].真空,2007,44(5):36-38. 被引量：10
5张化福,袁玉珍,刘汉法,刘云燕.掺Al ZnO柔性透明导电薄膜研究进展[J].半导体技术,2008,33(6):461-465. 被引量：3
6张化福,袁玉珍,刘云燕.柔性透明导电薄膜ZAO[J].液晶与显示,2008,23(4):489-493. 被引量：6
7刘丹,黄友奇.可用于沉积透明导电氧化物薄膜的柔性衬底研究进展[J].材料导报,2012,26(23):43-46. 被引量：7
8郝红英,王茜,王文俊.CRGP柔性导电薄膜及其超级电容器制备与性能[J].材料工程,2015,43(7):26-31. 被引量：3

二级引证文献61

1张丽伟,卢景霄,李瑞,冯团辉,靳锐敏,张宇翔,李维强,王红娟.薄膜结构性能变化中的“温度临界点”[J].人工晶体学报,2005,34(5):940-943. 被引量：8
2张丽伟,王子健,卢景霄,王海燕,吴芳,李红菊.真空退火法对AZO薄膜的研究[J].真空,2006,43(5):13-15. 被引量：5
3张凤,陶杰,董祥.柔性透明导电薄膜及其制备技术[J].材料导报,2007,21(3):119-122. 被引量：4
4张丽伟,周伶俐,李瑞,卢景霄,李红菊,王红娟,谷锦华,杨仕娥.硅薄膜晶化机制的光学分析[J].人工晶体学报,2007,36(2):344-347.
5周继承,陈海波,李幼真.纳米Ta-Al-N薄膜的制备及其扩散阻挡特性的研究[J].真空科学与技术学报,2007,27(4):327-331. 被引量：2
6齐玉明,梅冰,杨光.中频交流磁控溅射制备AZO薄膜及退火工艺[J].电子元件与材料,2007,26(8):62-64.
7周继承,陈海波,李幼真.Diffusion barrier performance of nanoscale TaN_x thin-film[J].中国有色金属学会会刊：英文版,2007,17(4):733-738.
8张松青,吴芳,张丽伟,高哲,王子健,卢景霄.脉冲式退火法对AZO薄膜性能的研究(英文)[J].人工晶体学报,2007,36(5):1182-1186. 被引量：1
9周丽萍,呂珺,汪冬梅,陈雯雯,吴玉程,郑治祥.退火气氛对Al-F共掺杂ZnO透明导电薄膜性能的影响[J].功能材料,2007,38(A02):536-538.
10王光伟,张建民,郑宏兴,杨斐.ZnO薄膜的制备方法、性质和应用[J].真空,2008,45(5):54-61. 被引量：9

1李素敏,赵玉涛,何维凤,戴起勋,张钊.磁控溅射制备柔性衬底ZnO:Ga透明导电膜研究[J].半导体技术,2006,31(2):94-97. 被引量：2
2刘月豹.柔性衬底Zn-Sn-O透明导电膜的特点分析[J].科技风,2017(6):203-203.
3顾培夫,刘旭,郑志东,李海峰,唐晋发.光电子器件用透明导电膜[J].激光与红外,1995,25(5):33-35. 被引量：2
4张平,王连杰,杨斌,宋淑梅,杨田林.薄膜厚度对直流溅射制备AZO薄膜的特性影响[J].光电子技术,2009,29(4):261-264. 被引量：2
5邵景珍,董伟伟,陶汝华,邓赞红,方晓东.柔性透明导电氧化物薄膜的制备及其应用[J].液晶与显示,2009,24(5):675-680. 被引量：2
6赵恒谦,徐晓峰,董慧莲.红外液晶显示器透明导电膜的研制[J].光电子技术,1994,14(1):59-62.
7朱社林,崔容强.先进的透明导电薄膜—ZnO[J].新能源,1991,13(3):1-3.
8贾芳,马晓翠,吕有明,曹培江,朱德亮.透明导电氧化锌薄膜的制备[J].材料导报（网络版）,2008,3(1):13-15.
9吴正华.微通道板示波管带状边框透明导电薄膜的研制[J].光电子技术,1989,9(1):13-17.
10梁瑞林,李万兵.一种制备二氧化锡透明导电膜的新方法[J].电子材料（机电部）,1992(8):16-18.

山东大学学报（自然科学版）

1998年第3期

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