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表面形貌的全息式非接触光学测量方法

Noncontact Holographic Optical Measuring Method of the Surface Profile
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摘要 讨论了关于表面形貌的一种全息式非接触光学测量新方法.此方法采用全息光学元件HOE替代普通光学元件,作为离焦检测元件,提高了测量精度和范围. A new noncontact holographic optical measuring method of the surface profile was discussed. By using holographic optical element (HOE) to replace the conventional optical element, as a defocusing testing device,measuring precision and range can be improved.
出处 《北方交通大学学报》 CSCD 北大核心 1998年第4期79-82,共4页 Journal of Northern Jiaotong University
关键词 表面形貌 全息光学元件 非接触光学测量 surface profile HOE noncontact optical measurement
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参考文献2

  • 1张国雄,精密仪器电路,1987年
  • 2杨国光,近代光学测试技术,1986年

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