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微透镜阵列的计量标准化

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摘要 分析了连续表面微透镜阵列的几何参量和光学性能的检测方法,介绍了最新的ISO14480系列标准。针对典型的微镜阵列元件,给出其详细结构尺寸,从而建立了一套通过测试元件的几何参量、加工误差来综合评估微光学元件性能的方法。
出处 《计量技术》 2009年第9期13-16,共4页 Measurement Technique
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