洁净室(区)中悬浮粒子检测结果不确定度评定

目的:评定尘埃粒子计数器测量洁净室中悬浮粒子结果的不确定度。方法:建立测量过程中的数学模型,对过程中的误差进行辨别,分析测量过程中的不确定度。结果:粒径≥0.5μm的粒子其测定结果的相对扩展不确定度为0.4799;粒径≥5μm的粒子其测定结果的相对扩展不确定度为0.4804。