加拿大加大对MEMS及三维封装研究项目投入

加拿大政府和加拿大魁北克省政府最近宣布，将向MEMS及三维层叠尖端封装领域的研究投入总额为1亿7800万美元的资金。目的是通过MEMS技术以及晶圆级三维层替封装技术，为硅元件带来创新。