期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
超大规模集成电路生产环境空气含尘浓度的预测
被引量：
3
下载PDF
职称材料
导出
摘要
本文为了适应21世纪初期超大规模集成电路发展的需要,提出了预测空气含尘浓度的方法。建立了空气含尘浓度C和空气粒子最大允许值E之间的关系式,计算出和IC集成度相对应的圆片加工区的空气含尘浓度C值。
作者
王毅勃
王唯国
机构地区
电子工业部第十一设计研究院
出处
《洁净与空调技术》
1998年第3期10-13,共4页
Contamination Control & Air-Conditioning Technology
关键词
大规模集成电路
洁净室
空气含尘浓度
预测
分类号
TU834.86 [建筑科学—供热、供燃气、通风及空调工程]
TU834.854 [建筑科学—供热、供燃气、通风及空调工程]
引文网络
相关文献
节点文献
二级参考文献
0
参考文献
3
共引文献
0
同被引文献
5
引证文献
3
二级引证文献
6
参考文献
3
1
集成电路生产中洁净室系统时主要趋向. 严德隆.
2
对90年代我国洁净技术进一步发展的看法.严德隆
3
洁净级别预测.王唯国,王毅勃.
同被引文献
5
1
许钟麟.
沉降菌法和浮游菌法关系初探[J]
.中国公共卫生,1993,9(4):160-162.
被引量：16
2
王唯国,王毅勃.
洁净级别预测[J]
.洁净与空调技术,1996(1):2-4.
被引量：3
3
林耀泽.
微环境技术述评[J]
.微电子技术,1996,24(1):12-20.
被引量：2
4
许钟麟.成品率和洁净环境的级别之间的关系[J].力学与实践,1981,3(1):45-49.
5
Kitajina H, Shiramizu Y. Requirements for comtamination control in Gigabit era. In: IEEE Trans.1997,10(2) :267.
引证文献
3
1
胡雨燕,徐文华,范存养.
洁净技术的现代趋势—SMIF/微环境技术[J]
.洁净与空调技术,1999(2):34-40.
被引量：5
2
徐文华,胡雨燕.
SMIF/微环境中数值模拟气流的研究[J]
.建筑热能通风空调,2002,21(1):2-6.
被引量：1
3
许钟麟.
由集成电路成品率确定空气洁净度级别的理论方法[J]
.暖通空调,2003,33(5):24-27.
二级引证文献
6
1
侯华波,喻李葵,万雄峰.
洁净室流场数值模拟的研究进展[J]
.建筑热能通风空调,2005,24(1):38-43.
被引量：6
2
姜伟康,章汝熙.
微电子工业与洁净技术的发展[J]
.洁净与空调技术,2005(4):21-28.
被引量：1
3
丛明,杜宇,沈宝宏.
硅片传输单元洁净系统的研制[J]
.半导体技术,2006,31(9):656-659.
被引量：3
4
倪卫,熊迁,谭宁,曹庭分,贺少勃.
洁净保持箱洁净处理风速的分析[J]
.液压与气动,2011,35(6):26-28.
5
陈球.
百级洁净室洁净度异常的成因分析和处理方法[J]
.微电子技术,2001,29(1):60-64.
被引量：3
6
范存养,徐文华,林忠平.
微电子工业空气洁净技术的若干进展[J]
.暖通空调,2001,31(5):20-38.
被引量：13
1
张利群.
浅述某超大规模集成电路后工序洁净厂房的设计[J]
.洁净与空调技术,1998(1):2-5.
2
吴昌洪,秦立泉.
高悬尘罩的设计与计算[J]
.中国机械,2014(7):163-164.
被引量：1
3
范存养,林忠平.
超大规模集成电路工业洁净室的设计[J]
.洁净与空调技术,1996(4):24-29.
被引量：1
4
郭江洪,田启华,郭江庆.
浅谈施工机械机电一体化及自动化[J]
.水利电力劳动保护,2001(3):27-30.
被引量：2
5
张利群.
超大规模集成电路的生产环境和送风方式[J]
.洁净与空调技术,1997(2):13-21.
被引量：1
6
严把设计变更审核关，为政府节省巨额投资[J]
.中国审计（特区版）,2008(1):19-19.
7
王洪朋,王孝服,张兆胜.
通信机房的防雷措施[J]
.通信工程,2009(4):44-45.
8
刘健.
洁净室等大空间工业建筑消防设计的探讨[J]
.洁净与空调技术,2004(4):44-46.
9
樊勖昌.
超纯水管道设计及管材选择[J]
.洁净与空调技术,1994,0(1):18-23.
被引量：1
10
张彦.
智能建筑技术的发展与趋势[J]
.通信世界,2002(6):18-19.
洁净与空调技术
1998年 第3期
职称评审材料打包下载
相关作者
内容加载中请稍等...
相关机构
内容加载中请稍等...
相关主题
内容加载中请稍等...
浏览历史
内容加载中请稍等...
;
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
