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电子洁净厂房工艺冷却水和纯水管材的选择被引量：3

Electronics Cleanroom Process Cooling Water and DI Water Pipe Material Selection

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摘要对电子洁净厂房工艺给水不同水质要求所选用的管材进行说明。 Description of pipe material meeting different water quality requirements.

作者王鹏

机构地区中国电子工程设计院

出处《洁净与空调技术》 2009年第3期56-59,共4页 Contamination Control & Air-Conditioning Technology

关键词电子洁净厂房纯水工艺冷却水管材选择 Cleanroom DI water Process Cooling Water Pipe Material

分类号 TU991.36 [建筑科学—市政工程]

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洁净与空调技术

2009年第3期

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