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颗粒物质到蒸发源的输送

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摘要 专利申请号:CN200580039033.6 公开号:CN101094932 申请日:2005-09—16 公开日:2007—12-26 申请人:美国伊斯曼柯达公司 一种将颗粒物质蒸发并将其在表面上冷凝以形成膜层的方法,其在第一容器内提供了一些第一颗粒物质并在与第一容器相隔开的第二容器内提供了一些第二颗粒物质,第一容器和第二容器分别具有第一开口和第二开口。
出处 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期49-49,共1页 Surface Technology
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