CCD干涉测量中的定标方法研究

采用CCD摄像机采集晶体锥光干涉图，转动晶片使光轴的出露点形成圆形轨迹，通过最小二乘法对多个测试点拟合得到圆半径和圆心坐标。利用光轴垂直表面的晶片的锥光干涉图来确定数字图像中的距离与光线入射角的关系，使定标误差减小约一个数量级。最后采用定标系统进行实际数据处理。