扩散硅压阻式传感器温度漂移性能及补偿算法研究

介绍了影响扩散硅压力传感器性能的主要因素——零点漂移和灵敏度漂移，详细介绍了零点漂移和灵敏度漂移的两种补偿方法，并通过试验验证了两种补偿方法。