压电陶瓷工作台的自校正PID控制

Self-Tuning Control of Piezoelectric Positioning Stage

为了提高压电陶瓷驱动的精密工作台的定位精度,提出了一种基于自校正理论的PID控制方法。分析了工作台的动态迟滞模型,辨识了工作台的参数,设计了自校正PID控制算法。实验结果表明,与传统PID控制器相比,定位精度有了较大提高,相应速度得以加快,有效改进了工作台的性能。