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微机械系统三维微结构的激光加工技术 被引量：4

LASER THREE DIMENSIONAL MICROMACHINING FOR MEMS
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摘要 介绍了激光掩模投影直刻技术，聚焦激光束光栅扫描技术及激光辅助化学气相沉积等在微机械加工技术中的应用。 This paper introduces the application of laser ablation with mask exposure,laser writing with raster scanning and LCVD techniqe in three dimensional micromachining for MEMS.
作者 李呈德 左铁钏
机构地区 北京工业大学国家产学研激光技术中心
出处 《微细加工技术》 1998年第4期7-13,共7页 Microfabrication Technology
关键词 微机械 三维微结构 激光加工 MEMS,3 Dimensional micromachining Laser
分类号 TG665 [金属学及工艺—金属切削加工及机床] TH－39 [机械工程]
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引证文献4

二级引证文献10

微细加工技术
1998年 第4期

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