电子工业洁净厂房的建筑设计

上海微电子装备有限公司是承担国家“863”重大技术专项国家集成电路光刻设备项目的单位之一。其目标是研制100nmArF准分子激光步进扫描投影光刻机样机，并为形成产业化生产摸索出一条自主开发、制造的道路，使我国集成电路制造装备实现重大技术跨越，从而拥有自己的高端光刻机知识产权。