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电子工业洁净厂房的建筑设计 被引量:1

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摘要 上海微电子装备有限公司是承担国家“863”重大技术专项国家集成电路光刻设备项目的单位之一。其目标是研制100nmArF准分子激光步进扫描投影光刻机样机,并为形成产业化生产摸索出一条自主开发、制造的道路,使我国集成电路制造装备实现重大技术跨越,从而拥有自己的高端光刻机知识产权。
作者 范叶初
出处 《上海建设科技》 2009年第5期27-29,54,共4页 Shanghai Construction Science & Technology
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