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高纯多晶硅
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摘要
上海航天技术研究院所属内蒙古神舟硅业有限责任公司作为专业从事多晶硅及下游产品,以及副产品研发、制造和销售的高新技术企业,采用改良西门子法(即闭环式三氯氢硅氢还原法)工艺技术,主要生产电子级高纯多晶硅(纯度在9N以上)和太阳能级高纯多晶硅(纯度在6N左右)。改良西门子法是目前生产多晶硅所采用的首选工艺。该工艺首先将氯和氢合成氯化氢,
出处
《军民两用技术与产品》
2009年第10期32-32,共1页
Dual Use Technologies & Products
关键词
多晶硅
高纯
有限责任公司
高新技术企业
航天技术
氢还原法
三氯氢硅
下游产品
分类号
TQ133.1 [化学工程—无机化工]
TN304.12 [电子电信—物理电子学]
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军民两用技术与产品
2009年 第10期
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