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高纯多晶硅

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摘要 上海航天技术研究院所属内蒙古神舟硅业有限责任公司作为专业从事多晶硅及下游产品,以及副产品研发、制造和销售的高新技术企业,采用改良西门子法(即闭环式三氯氢硅氢还原法)工艺技术,主要生产电子级高纯多晶硅(纯度在9N以上)和太阳能级高纯多晶硅(纯度在6N左右)。改良西门子法是目前生产多晶硅所采用的首选工艺。该工艺首先将氯和氢合成氯化氢,
出处 《军民两用技术与产品》 2009年第10期32-32,共1页 Dual Use Technologies & Products
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