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世界主要MBE设备制造商及产品简介 被引量:1

Introduction of the World Main MBE Companies and Their Products
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摘要 本文根据Riber、Veeco、DCA Instruments等著名公司的最新资料简要介绍了世界上主要分子束外延设备制造公司及其主流产品的基本情况,供国内相关领域的读者在了解和选购MBE产品时作参考。 This paper introduces the general information of the world main MBE companies and their mainstream products according to the latest information of these companies, as a reference for Chinese potential MBE vendee when he want to know and purchase MBE systems & components.
作者 刘超 包兴明
出处 《中国材料科技与设备》 2009年第5期14-17,共4页 Chinese Materials Science Technology & Equipment
关键词 分子束外延 半导体薄膜 MBE设备 Molecular beam epitaxy Semiconductor film MBE system
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