基于三种不同材料的超光滑表面性能测量结果的对比研究

The Comparative Study on Super-smooth Surface Performance Measurements Based on Three Different Materials

为了研究目前主流微加工表面检测方式,本文选择三种基本材料:K9玻璃、金属、陶瓷三种不同材料在同等条件下采用不同工艺进行加工,并使用目前主流超光滑表面测试仪器对其进行检测。通过对照结果,分析各仪器测量原理、分辨力决定因素,区分造成测量误差的原因及它们各自对粗糙度参数的影响。