期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
设备自动化作业系统的设计与实现
被引量：
1
下载PDF
职称材料
导出
摘要
优化设备作业流程可提高生产效率和提升效益。对现有设备作业流程进行分析,针对作业流程的关键问题——提高设备的利用率和晶圆片的产能,提出设备自动化作业系统优化作业流程以及与MES系统、GUI系统交互、信息共享的解决方案,应用于某半导体企业中并取得较好效果。
作者
黄海平
机构地区
无锡机电高等职业技术学校
出处
《机电信息》
2009年第30期177-179,共3页
关键词
设备自动化作业系统
半导体设备通信标准
JAVA消息服务
分类号
TP311.52 [自动化与计算机技术—计算机软件与理论]
引文网络
相关文献
节点文献
二级参考文献
12
参考文献
2
共引文献
10
同被引文献
5
引证文献
1
二级引证文献
4
参考文献
2
1
王戟,王兵.
半导体设备通讯标准GEM的应用[J]
.机电工程,2008,25(7):34-36.
被引量：8
2
钟雪灵,鲍苏苏.
半导体生产后工序设备的自动化改造方案[J]
.计算机技术与发展,2006,16(6):65-67.
被引量：4
二级参考文献
12
1
赵明华.
半导体设备产业崛起在中国[J]
.半导体行业,2007(1):18-23.
被引量：3
2
刘立峰 汤建华.全自动金丝球焊机焊接定位系统设计研究[J].光学精密工程,2002,10(6):70-74.
3
Banks S.Signal Processing,Image Processing and Pattern Recognition[M].Englewood Cliffs,NJ:Prentice Hall,1996.
4
Sung-Hyuk C.Efficient Algorithms for Image Template and Dictionary Matching[J].Journal of Mathematical Imaging and Vision,2000,12:81-90.
5
Castleman K R.Digital Image Processing[M].[s.l.]:Prentice Hall,1996.
6
王家发.制造自动化软件使制造生产力更上层楼[EB/OL].[2003-09-17].http://www.sichinamag.com/Article/html/2003-10/2006112143045e8950.htm.
7
SECREST J, GHISELLI J. SECS Communications handbook [ M]. SECS and GEM Implementation Seminar. 1996.
8
SEMI. E30-1103 Generic model for communications and control of manufacturing equipment [ S ]. Global Information & Control Committee,2003.
9
SEMI. SEMI E37-0303 High-Speed SECS Message Services (HSMS) Generic Services[ S]. Global Information & Control Committee ,2003.
10
翁泰松.
半导体设备市场的新动向[J]
.电子工业专用设备,2008,37(1):42-45.
被引量：1
共引文献
10
1
王戟,王兵,李瑞东.
基于SECS标准的半导体封装设备串口通信实现[J]
.制造业自动化,2008,30(10):83-85.
被引量：2
2
钟雪灵,鲍苏苏.
芯片焊接中焊点自动定位技术的研究[J]
.计算机工程与设计,2009,30(11):2810-2813.
3
王巍,邹龙庆,徐华,李搏,贾培发,李垒.
基于SEMI标准的半导体工艺设备功能仿真系统设计[J]
.电子科技大学学报,2012,41(4):599-604.
被引量：3
4
杜艳春.
典型自动化设备及生产线应用与维护[J]
.科技创新与应用,2013,3(28):89-89.
被引量：3
5
袁丁,张克佳.
GEM标准在CMP系统上的应用[J]
.电子工业专用设备,2016,45(5):16-19.
被引量：1
6
吴燕林,李嘉浪,周庆亚.
GEM状态转换在化学机械抛光设备系统中的应用[J]
.电子工业专用设备,2019,48(1):29-32.
7
吴燕林,孟晓云,刘福强,田洪涛,张康.
半导体设备工艺配方管理系统研究[J]
.电子工业专用设备,2023,52(1):40-44.
8
黄浩,杨勇,周时宇.
半导体制造设备自动化作业系统设计与实现[J]
.中国集成电路,2024,33(4):82-85.
9
周丹,谢贵久,张文斌,刘宇光.
GEM通讯协议在减薄设备中的应用[J]
.电子工业专用设备,2024,53(2):63-67.
10
梁达平,赵玉祥,张进兵.
基于SECS/GEM协议的芯片烘箱设备智能故障诊断算法设计[J]
.电子与封装,2024,24(7):90-97.
同被引文献
5
1
张蓉.
半导体行业MES的研究与应用[J]
.中国新通信,2013,15(22):59-59.
被引量：1
2
耿凯鸽.
MES在半导体生产管理中的应用[J]
.物联网技术,2014,4(8):87-89.
被引量：6
3
李贺明,卫小松.
半导体企业MES的设计与实现[J]
.制造业自动化,2015,37(24):4-6.
被引量：8
4
朱文海,张维刚,倪阳咏,林廷宇,张梅芳.
从计算机集成制造到“工业4.0”[J]
.现代制造工程,2018(1):151-159.
被引量：20
5
邱鹏.
基于物联网(IoT)技术的智能生产线系统的研究与设计[J]
.制造业自动化,2017,39(12):143-145.
被引量：2
引证文献
1
1
沈瑾,章熙峰,劳立.
移动MES系统在半导体制造中的设计应用[J]
.制造业自动化,2019,41(1):20-23.
被引量：4
二级引证文献
4
1
牟振平,杨智勇.
半导体制造业自动化系统设计与实现[J]
.信息与电脑,2022,34(4):113-116.
被引量：1
2
陈志平,汪传亮,黄超亮,李清峰,冯伟.
铜盘管企业MES的构建与实现[J]
.制造业自动化,2024,46(2):209-213.
3
张兴辉,熊华锋,李理.
某半导体封装企业生产经营分析及智能制造升级[J]
.智能制造,2024(1):62-67.
4
沈瑾,章熙峰.
RPA技术在半导体智能制造系统中的设计应用[J]
.智能制造,2024(3):45-49.
1
张莉.
提高C14.6tex纱成纱质量的措施[J]
.纺织科技进展,2005(4):49-50.
2
李健.
世强十五年:创造需求提升服务价值[J]
.电子产品世界,2008,15(8):148-148.
3
孙黎辉.
乐陵市7—8月份暴雨预报初级专家系统[J]
.山东气象,1991,0(2):31-32.
4
宋晓艳,丁万庆,杨飞,李涛,程博闻.
PVDF-g-PMMA/POSS纳米纤维膜的制备与表征[J]
.天津工业大学学报,2015,34(1):12-16.
被引量：5
5
王宝山,郭红霞.
关于全国1∶50 000 DLG生产项目管理的探讨[J]
.测绘与空间地理信息,2005,28(4):55-56.
被引量：2
6
香港推广织物数码印花技术[J]
.纺织信息周刊,2002(16):18-18.
7
山.
台湾省“二兆双星”计划进程[J]
.电子产品世界,2005,12(08A):37-37.
8
杨静.
森林资源规划设计与调查分析[J]
.中国科技博览,2014(10):369-369.
9
阴海明.
喷气织机的发展与动向[J]
.现代纺织技术,2015,23(1):61-64.
被引量：4
10
韩贤权,李端有,谭勇,邹双朝.
数字水准仪自动化监测系统在大坝变形监测中的应用[J]
.测绘科学,2010,35(3):173-175.
被引量：7
机电信息
2009年 第30期
职称评审材料打包下载
相关作者
内容加载中请稍等...
相关机构
内容加载中请稍等...
相关主题
内容加载中请稍等...
浏览历史
内容加载中请稍等...
;
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
