离子投影光刻

对于０１３μｍ以下几何作图，离子投影光刻是一种适用的技术。该技术没有光学衍射局限性和电子光刻接近效应，并能使几何图形缩减，进行动态畸变校正。欧州的研究计划正在寻求解决ＩＰＬ方面的技术难题。