期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息

CFZ单晶的生产及特点

下载PDF
导出
摘要 本文介绍了一种全新的硅单晶生长方法。通过大量实验对ＣＦＺ法生长技术和特点作了描述，并对ＣＦＺ的应用作了讨论。
作者 沈浩平 李翔 昝兴利 汪雨田 纪秀锋 林键
机构地区 天津市半导体材料厂 电子部第四十六研究所
出处 《半导体杂志》 1998年第3期24-25,共2页
关键词 半导体 硅单晶 掺杂 CFZ法
分类号 TN304.12 [电子电信—物理电子学] TN304.054 [电子电信—物理电子学]
  • 相关文献
半导体杂志
1998年 第3期

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部