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先进计算机芯片用纳米铜棒
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摘要
美国纽约的Rensselaer综合技术研究所新近研究成功一种可用作新一代三维集成计算机芯片连接层的纳米铜棒制取方法。研究者们发现细小的纳米铜棒采取300℃左右的低温退火,能使得纳米棒适合于热敏电子器件。通过间断汽相沉积过程并将纳米铜棒暴露于大气中吸收氧,随后沉积时受到氧化的Cu有助于防止汽化铜原子迁移出纳米铜棒端部。
出处
《金属功能材料》
CAS
2009年第5期62-62,共1页
Metallic Functional Materials
关键词
计算机芯片
纳米棒
铜棒
沉积过程
制取方法
低温退火
电子器件
原子迁移
分类号
TN4 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]
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金属功能材料
2009年 第5期
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