摘要
本文主要叙述了ＭＡＭＡ探测器的工作原理、阳极阵列结构选择及电极编码结构选择的依据，对几种不同类型的阳极与编码方式进行了比较，同时对制作工艺也提出了一些要求。最后介绍了１２８×１２８阳极结构设计的具体参数和设计图。
The 128×128-pixels MAMA detector has been developed. The operational prin- ciples,anode array geometry, encoding geometry and comparison with each other are described in the paper. The fabrication process,main parameters and configuration of the device are intro- duced.
出处
《真空电子技术》
1998年第5期20-25,共6页
Vacuum Electronics
