300mm硅片大电流离子注入新工艺
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2黄德均.研制300mm硅片的设备将纳入国际标准[J].广东电子,1997(2):48-48.
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3杨晓婵（摘译）.日本SUMCO计划增加300mm硅片产能[J].现代材料动态,2008(4):17-17. 被引量：1
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4杨晓婵（摘译）.2009年4季度300mm硅片需求开始恢复[J].现代材料动态,2010(4):15-16.
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9睿励科学仪器在SEMICON China 2012上推展出TFX3000[J].电子工业专用设备,2012,41(3):64-64.
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10高文泉,陈威,陈波,柳滨.300mm硅片CMP设备装载技术研究[J].电子工业专用设备,2011,40(11):1-3.
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