摘要
介绍了作为半导体材料应用的ＳｉＣ的主要性能、晶体生长研究进展及器件研制现状。
This paper introduces the main properties,research progress on crystal growth and device application status for SiC crystal as a semiconductor material.
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1998年第5期13-17,共5页
Semiconductor Technology
