离子注入机高压舱参数光纤隔离遥控方法的研究

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摘要２８０ｋＶ全离子注入机由处于高压舱内的离子源、磁分析器及其与高压电极相连的加速管、四极透镜、扫描装置和靶室等部件组成，如图１所示．从离子源引出的离子束先经磁分析器分选，经高压加速系统使带电粒子加速到一定能量后，再经四极透镜传输到扫描系统，最后轰击到靶...

作者廖小东孙官清王培录郑思孝刘仲阳

出处《四川大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 1998年第5期787-789,共3页 Journal of Sichuan University(Natural Science Edition)

关键词离子注入机高压舱光纤隔离遥控

参考文献3

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四川大学学报（自然科学版）

1998年第5期

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