不同衬底上CSS法制备的CdTe薄膜结构比较

采用近距离升华法(CSS)分别在Si、ITO/玻璃、普通玻璃三种衬底上沉积了CdTe多晶薄膜,通过X射线衍射(XRD)分析,比较了它们的微结构。结果表明,用Si作为衬底沉积的CdTe具有很强(111)面择优取向。通过对不同衬底上沉积的CdTe薄膜(111)峰择优取向的研究,发现薄膜的微结构与衬底的结构以及粗糙度有着密切的关系,衬底表面粗糙,成核密度高,沉积的薄膜具有较低的择优取向度。