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微型机械技术

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摘要一、何谓微型机械技术微型机械技术目前并没有一个严格的定义，一般认为尺度在微米、纳米级的机械和电子技术即为微型机械技术。微型机械技术包括传感器技术、微型发动机技术、微电子机械系统（ＭＥＭＳ）技术、纳米技术、微型机械技术、微电子技术、微组装技术等。其中涉...

作者闻浩之

出处《全球科技经济瞭望》 1998年第8期8-9,共2页 Global Science，Technology and Economy Outlook

关键词微型机械高科技新技术开发

分类号 TH－39 [机械工程]

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全球科技经济瞭望

1998年第8期

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