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Air Liquide将为中芯国际深圳晶圆厂供气
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摘要
中芯国际选择了Air Liquide作为长期气体供应商,为其2010年初投产的深圳200mm和300mm晶圆厂供应气体。Air Liquide将投入1300万美元用于设施改造以满足中芯国际的需求。根据条款,Air Liquide将向中芯国际供应氮气、氧气、氢气、氩气等气体。
出处
《中国集成电路》
2009年第11期5-5,共1页
China lntegrated Circuit
关键词
300MM晶圆
国际
深圳
供气
供应商
设施改造
气体
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
TU996.5 [建筑科学—供热、供燃气、通风及空调工程]
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中国集成电路
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