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Air Liquide将为中芯国际深圳晶圆厂供气

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摘要 中芯国际选择了Air Liquide作为长期气体供应商,为其2010年初投产的深圳200mm和300mm晶圆厂供应气体。Air Liquide将投入1300万美元用于设施改造以满足中芯国际的需求。根据条款,Air Liquide将向中芯国际供应氮气、氧气、氢气、氩气等气体。
出处 《中国集成电路》 2009年第11期5-5,共1页 China lntegrated Circuit
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