应用于激光直写设备的转台自动测控系统

极坐标激光直写法是制作二元光学器件较有前途的方法:它对直写设备中的转台测控系统提出了许多特殊要求。本文介绍了一种满足这些要求的新型转台测控系统,它在工作过程中相当于上位机与转台之间的智能外围接口。系统以MCS-51微处理机为核心,采用IEEE-488协议实现与上位机的通讯;能够根据上位机的要求,综合运用比例积分与测速微分反馈原理控制转台转速;以硬件为核心构成的模块,实现了曝光圈数控制及高精度测速。