用独立双槽缝天线激发的超宽ECR等离子体源
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1马丁.离子束应用的紧凑ECR等离子体源[J].等离子体应用技术快报,1999(1):9-11.
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2甘德昌.导电薄膜沉积用ECR等离子体源[J].等离子体应用技术快报,1995(8):10-11.
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3刘明海,胡希伟,吴汉明.ECR等离子体源中基本参数的数值模拟[J].核聚变与等离子体物理,1998,18(2):36-40. 被引量:6
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4一弓.环会切磁场大面积ECR等离子体源[J].等离子体应用技术快报,1996(10):8-9.
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5卫冰.改进的ECR等离子体源[J].等离子体应用技术快报,1999(4):7-8.
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6甘德昌.具有远距离微波注入窗的永久磁性ECR等离子体源[J].等离子体应用技术快报,1996(8):10-11.
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7楚山.利用开槽天线微波源的ECR等离子体源[J].等离子体应用技术快报,1996(4):9-10.
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8吴亚杰,张旭,周铁戈,朱珂新,李良,阎少林,赵新杰,何明,季鲁.微波场中Josephson结的微波发射与吸收研究[J].低温与超导,2012,40(8):44-48. 被引量:1
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9大见忠弘.微波等离子体处理装置、等离子体处理方法以及微波发射部件[J].表面技术,2005,34(2):65-65.
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10刘赓胥.使用通过环形缝隙径向注入的微波产生的多会切ECR等离子体源[J].等离子体应用技术快报,1996(2):12-13.
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