日立开发出CMOS兼容的MEMS传感器工艺
摘要
日立中心研究实验室（东京）的研究人员宣布，他们已经开发出了与CMOS兼容的MEMS加工技术，可以在CMOS芯片的互连层上制造MEMS传感器。
出处
《集成电路应用》
2009年第11期27-27,共1页
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